含氟废气通常是指含有气态HF和SiF₄的废气，其主要来源于冶金工业的铝电解和炼钢过程，化学工业的磷肥生产以及建筑行业的陶瓷、玻璃、水泥和砖瓦等生产过程。含氟废气的处理方法主要有湿法吸收和干法吸附两种，根据吸收剂的不同又将吸收净化法分为水吸收法和碱液吸收法。

　　吸附净化法是将含氟废气通过装填固体吸附剂的吸附装置进行吸附从而达到除氟的目的，可以采用工业氧化铝、氧化钙和氢氧化钙等作为吸附剂。比如净化铝电解厂含氟废气常采用的吸附剂为工业氧化铝，吸附含氟废气的氧化铝可直接进入电解铝的生产过程中，不存在吸附剂再生的问题且净化效率高达98%以上。

　　含氟废气干法吸附法在净化的过程中不存在含氟废水避免了二次污染的产生。和其他净化方法相比干法吸附净化基建费用和运行费用都是比较低的，并且可适用于各种各样的气候条件，特别是在北方冬季也不存在保温防冻的问题。

　　湿法吸收处理含氟废气技术采用水、碱性溶液或某些盐类溶液来吸收废气中的氟化物从而达到净化回收的目的。该技术的优点是净化设备体积小、易实现，净化工艺过程可连续操作和回收各种氟化物且净化效率高、效果好。其缺点是会造成二次污染且在寒冷地区需要安装保温措施。

　　水吸收法是利用HF和SiF₄都极易溶于水的特点，氟化氢溶于水生成氢氟酸，四氟化硅溶于水则成为一定浓度的硅氟酸和硅胶。硅氟酸可与工业食盐反应生成副产物氟硅酸钠，氢氟酸和氟硅酸溶液可以用来制取冰晶石、氟硅脲以及氟硅酸钠等产品。

　　碱液吸收法则是采用碱性物质（NaOH、Na₂CO₃和氨水等）作为吸收剂来脱除含氟废气中的氟，同时得到副产品冰晶石。该法适用于排气量小、废气中含氟量低和回收氟有困难的企业如搪瓷厂、玻璃马赛克厂以及水泥厂等。