等离子废气处理工艺是主要应用于废气中含有油雾或者白烟,废气是低浓度,小分子结构废气.等离子的高压电极能很好地分离废气中的固态,液态颗粒.废气浓度不宜过高否则有爆炸风险。等离子废气处理还有一个作用就是裂解小分子结构废气成分，并产生臭氧氧化小分子废气而达到净化效果。

等离子废气处理工艺实际上是一种电催化氧化工艺，设备在电催化总的设计概念下被分成三个即独立又混成的激发系统。这三个激发系统分别是微波激发区、等离子激发区和极板激发区，每个激发区分别有它特定的功能但在原理上却又有它相似的地方。

1、等离子废气处理工艺之微波激发区

等离子废气处理工艺一般有3至9个微波激发单位，具体的数量根据被处理废气风量的不同而不同。微波激发区因频率高和功率低而被作为设备的初频激发源，在处理过程中能够极大的提高等离子体区和极板区的激发能力和处理效果。

2、等离子废气处理工艺之等离子体激发区

等离子体激发区是等离子废气处理工艺的核心技术，一般配备有40至240支充有特殊气体的无极管。等离子体激发区借助低气压的无极灯作为该区域的激发体，可以最大限度地在该区域实现低温等离子体区。

3、等离子废气处理工艺之极板区

根据需要处理废气的风量等离子废气处理工艺的极板区电压可分为12KV、16KV以及42KV。极板区加以足够高的电压后在风机抽送的作用下，在常压或者接近常压的条件下大部分的粒子能够实现低温等离子体的激发。

等离子废气处理工艺应用范围：

1、等离子废气处理工艺适用于实验室废气处理、食品厂废气处理、塑料厂废气处理、沥青废气治理、制药废气处理、油漆漆雾废气治理、印刷厂废气处理和涂料等行业产生的挥发性有机废气，相比于传统的废气处理方法它具备无需再生处理原料、无需专人负责、不产生二次污染以及更换和维护保养方便的优点。

2、等离子废气处理工艺适用于处理低浓度的VOCs废气（一般低于200mg/m3为佳），并且应保证废气的浓度远低于爆炸下限以确保不存在爆炸危险。

3、等离子废气处理工艺对于废气的平均处理净化效率可以达到68%以上，适用于苯、甲苯、甲醛、氨气、硫化氢、二甲苯、丙烯腈、苯酚、丙烯醛、乙醛、三甲胺、甲硫氢、苯乙烯、二硫化碳、二甲基二硫、甲硫醚、甲硫醇、非甲烷总烃等有机废气等气体的处理。

等离子废气处理工艺基本原理：

等离子废气处理工艺集低温等离子体、微波放电和极板放电于一体，设备在放电的过程中虽然电子的温度很高，但是温度很低的重粒子却使整个体系呈现低温状态，所以该设备才被称为低温等离子体净化设备。

等离子废气处理工艺在外加电压达到气体的放电电压时，会将气体击穿并产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。设备利用这些活性粒子与废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。

详细过程为异味气体从气体收集系统收集后进入等离子设备，气体分子在高能电子的作用下受激发造成带电粒子或分子间的化学键被打断。与此同时空气中的水和氧气在高能电子的轰击下也会产生活性氧和OH自由基等强氧化性物质，这些性物质也会与气体分子进行反应并使其分解从而促进异味消除。经过等离子废气处理工艺净化后的气体经排气筒高空达标排放。等离子废气处理工艺一般和离心废气预处理工艺、活性炭吸附废气工艺、废气处理喷淋塔净化等工艺结合使用方能达到理想处理效果。