若对有机废气的净化率要求很高，则可采用两种方法：一种是延长循环时间的操作方法，但这样会使热效率降低；另种常用的方法是增加一台冲洗用蓄热室，即采用三室RTO装置。按照严格要求，若要将有机废气净化到很低的排放限值，目前几乎所有大型的蓄热式热力氧化器均由三台蓄热室组成(或称三床式、三塔式）。

　　三台蓄热室同时进行操作的原理：当第一台蓄热室处于被冷却而废气被预热的阶段时（冷周期）.第二台蓄热室正处于被净化气加热的过程(热周期），而第三台蓄热室则在冲洗（清洗周期）。因此，当一个循环后，废气始终进入到在上一循环时排出净化气的蓄热室，而原来进入废气的蓄热室则用净化气(或空气）冲洗，并将残留的未反应废气送回到反应室进行氧化，然后与净化气一起从冲洗过的蓄热室排出。

　　这种三室RTO装置中的废气进入、净化气排出和冲洗的程序可分为三个循环进行：

　　循环1：废气从底部进入第1台蓄热室，并被蓄热体加热到所需的预热温度，然后进人燃烧室中反应，达到完全氧化后向下进入第2台蓄热室，这时净化气将热量传给蓄热体，净化气被冷却后由风机排出；在此同时，从风机排出的净化气中，抽出部分净化气从底部进入第3台蓄热室进行冲洗，冲洗后的气流进入燃烧室，经反应后也通过第2台蓄热室，与净化气一起排出。

　　循环2：废气进入第2台蓄热室，并被预热后进入燃烧室，反应后净化气进入第3台蓄热室，净化气被冷却后排出；此时第1台蓄热室用净化气进行冲洗，冲洗出的气流经燃烧室反应后与净化气一起通过第3台蓄热室排出。

　　循环3：废气进人第3台蓄热室，并被预热后进人燃烧室，反应后净化气进入第1台蓄热室，净化气被冷却后排出；此时第2台蓄热室用净化气进行冲洗，冲洗出的气流经燃烧室反应后与净化气一起通过第1台蓄热室排出。这样再回到循环1，周而复始连续运转。

　　三室RTO装置可用于小到中等废气流量的废气治理。如果处理的废气流量很大时还用三室就会存在一些问题，首先，切换阀门相应也要做得很大，大阀门难以做得精密；其次，当蓄热室容积太大时，不能保证气流的均匀分布而影响传热效果。因此，当废气流量很大时（一般大于60000m³/h)，就应过渡到五室RTO装置，即两个两室并联加上一个室用于冲洗。

　　为了使燃烧室的温度达到均匀，在顶部相连的燃烧室中，可设置两个以上的燃烧器。同样，当处理量更大时，可用七室，两个三室并联加上个冲洗室；为适应负荷的变化，在七室相连通的顶部可设置两组燃烧系统，每组有三个燃烧器（1、3、5一组和2、4、6一组)。因为冲洗室的工作速度远比需热体的加热/冷却周期为快，所以一个室用于冲洗已经足够。