光氧催化废气处理设备广泛应用于有机废气处理和废气除臭领域，具有净化效率高、安装使用方便等优点。光解废气处理一般可分为三个过程:氧化反应、还原反应和分解反应。在纯碳氢化合物的情况下，反应的产物主要是无污染的二氧化碳和水。

　　光解废气处理的具体原理是用特殊的高能、高臭氧紫外线光束照射空气中的有机气体和氧分子，使有机废气的分子键断裂并释放出来。同时，空气中的氧分子分解产生游离活性氧，游离状态的污染物分子与臭氧反应，转化为无害化合物，达到废气处理的效果。

　　光解废气处理设备中的高能紫外光与空气和二氧化钛反应产生的臭氧和羟基自由基对恶臭气体进行协同分解和氧化反应。同时，大分子恶臭气体会在紫外线辐射的作用下导致恶臭气体分子链结构断裂，恶臭气体会被氧化成无味无味的二氧化碳和水。

　　光解废气处理设备中使用的大功率高能紫外灯发出的紫外波长主要为254纳米和185纳米。为了断裂废气成分的分子键，灯管必须发射比污染物分子结合能更强的光子能量。185纳米的光子能量为647千焦/摩尔，而大多数有机废气的分子结合能低于185纳米的紫外光。

　　适用于光解废气处理工艺的工业废气包括氨、三甲胺、甲硫基氢、甲硫醇、甲基硫醚、二甲基二硫、二硫化碳、苯乙烯、聚乙烯、聚丙烯、挥发性有机化合物、苯、甲苯、二甲苯等。